高纯气体常见的废弃物处理方式有：
1. 对气瓶进行安全存储，应存放在阴凉、干燥和远离火源的地方。一般储存在氢气库中或通风良好的室内钢瓶间里； 2 .对于含有微量的高浓度尾液,可采用焚烧法等适当方法进行处理;例如使用热解吸设备对含有多残留的吸附柱进 行回收和处理 。这些措施有助于减少环境污染并符合环保要求。 3．在生产过程中产生的废槽酸及盐酸清洗残渣要集中存放 ,统一妥善处置 ；4 ．有些项目产生的不合格品需要外售填埋 ，应有环保证明方可批准执行 ;5. 加强操作人员的培训和管理，提高其环境保护意识也是不容忽视的一方面。 通过以上几种方式的综合运用可以有效处理好高纯气体相关的废物垃圾，保护环境。
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